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溅射靶材有什么用?

 发布时间:2021-08-05 点击量:64
   溅射靶材是溅射薄膜的原材料,溅射是制备薄膜材料的主要技术之一。它利用离子源产生的离子加速离子在真空中的积累,形成高速离子束,轰击固体表面,并在离子与固体表面的表面之间交换能量,使固体表面的原子与固体和沉积在基座表面上并被轰击。
 
  溅射靶材的分类:
 
  一、根据成份:
 
  金属靶材
 
  (镍靶、Ni、钛靶、Ti、锌靶、Zn、铬靶、Cr、镁靶、Mg、铌靶、Nb、锡靶、Sn、铝靶、Al、铟靶、In、铁靶、Fe、锆铝靶、ZrAl、钛铝靶、TiAl、锆靶、Zr、铝硅靶、AlSi、硅靶、Si、铜靶Cu、钽靶T、a、锗靶、Ge、银靶、Ag、钴靶、Co、金靶、Au、钆靶、Gd、镧靶、La、钇靶、Y、铈靶、Ce、钨靶、w、不锈钢靶、镍铬靶、NiCr、铪靶、Hf、钼靶、Mo、铁镍靶、FeNi、钨靶、W等。)
 
  合金靶材
 
  (铁钴靶FeCo、铝硅靶AlSi、钛硅靶TiSi、铬硅靶CrSi、锌铝靶ZnAl、钛锌靶材TiZn、钛铝靶TiAl、钛锆靶TiZr、钛硅靶TiSi、钛镍靶TiNi、镍铬靶NiCr、镍铝靶NiAl、镍钒靶NiV、镍铁靶NiFe等)
 
  陶瓷化合物靶材
 
  (ITO靶、氧化镁靶、氧化铁靶、氮化硅靶、碳化硅靶、氮化钛靶、氧化铬靶、氧化锌靶、硫化锌靶、二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化铈靶、二氧化锆靶、五氧化二铌靶、二氧化钛靶、二氧化锆靶,、二氧化铪靶,二硼化钛靶,二硼化锆靶,三氧化钨靶,三氧化二铝靶五氧化二钽,五氧化二铌靶、氟化镁靶、氟化钇靶、硒化锌靶、氮化铝靶,氮化硅靶,氮化硼靶,氮化钛靶,碳化硅靶,铌酸锂靶、钛酸镨靶、钛酸钡靶、钛酸镧靶、氧化镍靶、溅射靶材等。)
 
  二、根据形状:
 
  可分为方靶,圆靶,异型靶
 
  三、根据应用领域:
 
  分为微电子靶材、磁记录靶材、光碟靶材、贵金属靶材、薄膜电阻靶材、导电膜靶材、表面改性靶材、光罩层靶材、装饰层靶材、电极靶材、封装靶材、其他靶材
 
  溅射靶材的应用:
 
  1.溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路;
 
  2.信息存储;
 
  3.液晶显示屏;
 
  4.激光存储器;
 
  5.电子控制器件等;
 
  6.玻璃镀膜领域;
 
  7.耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。
 
  四、溅射靶材根据应用不同:
 
  又分为半导体关联陶瓷靶材、记录介质陶瓷靶材、显示陶瓷靶材、超导陶瓷靶材和巨磁电阻陶瓷靶材等。
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